[发明专利]一种紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种紫外探测器，包括衬底，位于衬底表面的材质为宽禁带半导体氧化物的光电薄膜，位于光电薄膜表面的叉指电极以及位于光电薄膜表面的隔离层，其中隔离层至少对氧气具有隔离性，且至少对紫外光具有透过性。由于以宽禁带半导体氧化物作为材质的光电薄膜表面通常具有氧空位，可以吸附氧气形成氧负离子，该负氧离子可以与光生空穴结合发生脱附。通过隔离层使光电薄膜表面隔离氧气之后，可以使得从光电薄膜表面脱附的氧气增多，从而极大的增加光生载流子中的电子寿命，进而增加紫外探测器的响应度。本发明还提供了一种紫外探测器的制备方法，所制备而成的紫外探测器同样具有上述有益效果。

主权项

1.一种紫外探测器，其特征在于，包括：衬底；位于所述衬底表面的光电薄膜；其中，所述光电薄膜为宽禁带半导体氧化物薄膜；位于所述光电薄膜背向所述衬底一侧表面的叉指电极；覆盖所述光电薄膜背向所述衬底一侧表面的隔离层；其中，所述隔离层至少对氧气具有隔离性，且所述隔离层至少对紫外光具有透过性。