[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201811495423.X | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109898060B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 吉田雄一;柳堀文嗣 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/30;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/12;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 余文娟 |
| 地址： | 日本国神奈川*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置，其能够将基板、蒸镀掩模等调整对象的温度和目标温度的差异减小。基板(W)和蒸镀掩模(M)的至少一方是温度的调整对象，蒸镀装置具备：电阻加热器(22)，其以与调整对象热接触的方式对调整对象的温度进行调整；以及温度调整部(33)，其基于调整对象的温度来控制向电阻加热器(22)供给的电流。比被搬入到真空槽(16)时的调整对象的温度高的温度是调整对象的目标温度。温度调整部(33)将蒸镀材料从蒸镀源(11)放出时的目标温度设定成仅通过电阻加热器(22)的热量供给和该热量供给的停止而到达的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，具备：蒸镀源，其位于真空槽内；保持机构，其进行使基板的表面朝向所述蒸镀源的状态下的基板的保持和所述蒸镀源与所述基板之间的蒸镀掩模的保持；电阻加热器，所述基板和所述蒸镀掩模的至少一方是温度的调整对象，该电阻加热器以与所述调整对象热接触的方式对所述调整对象的温度进行调整；以及温度调整部，其基于所述调整对象的温度来控制向所述电阻加热器供给的电流，比被搬入到所述真空槽时的所述调整对象的温度高的温度是所述调整对象的目标温度，所述温度调整部将蒸镀材料从所述蒸镀源放出时的所述目标温度设定成仅通过所述电阻加热器的热量供给和该热量供给的停止而到达的温度。
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