[发明专利]一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法及其装置在审
| 申请号： | 201811499154.4 | 申请日： | 2018-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN109855571A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 卢建栋;张小伟;张扬 | 申请（专利权）人： | 东曹（上海）电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法及其装置，涉及溅射靶材加工领域，包括如下步骤：将靶材竖直放置；校准靶材竖直状态并加以固定；至少检测靶材一个侧面的平整度；记录检测数据，松开并取下靶材。针对现有技术存在检测数据不准确的问题，本发明通过将靶材竖直放置，检测靶材两侧表面的平整度，从而有效避免靶材自重对检测精度的影响，确保加工后的靶材便于安装使用。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 平整度 溅射靶材 检测 平板显示 竖直放置 记录检测数据 便于安装 检测数据 竖直状态 校准 取下 松开 加工 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1：将靶材竖直放置；步骤S2：校准靶材竖直状态并加以固定；步骤S3：至少检测靶材一个侧面的平整度；步骤S4：记录检测数据，松开并取下靶材。
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