[发明专利]包括分隔图案的图像传感器

摘要

包括分隔图案的图像传感器包括：基板；形成在基板中的感光元件，各个感光元件响应光生成感光电信号；抗反射层，形成在感光元件上方并减小光反射以方便入射光通过抗反射层光学透射到感光元件；滤色器，形成在抗反射层上方并在空间上分别与感光元件对应，各个滤色器选择入射光中的指定颜色透射通过到对应感光元件；分隔图案，形成在抗反射层上方并在空间上分别与感光元件对应，以将感光元件上方的光接收区域分隔成单独光接收区域，各个分隔图案包围对应滤色器以与相邻滤色器分离；凹槽，形成在分隔图案的上部中并在相邻分隔图案之间提供气隙；微透镜，形成在分隔图案和滤色器上方以分别将入射光通过滤色器引导到感光元件。微透镜通过凹槽彼此分离。

主权项

1.一种图像传感器，该图像传感器包括：基板；形成在所述基板中的感光元件，各个感光元件响应光以生成感光电信号；抗反射层，该抗反射层形成在所述感光元件上方并被构造为减小光学反射以方便入射光通过所述抗反射层光学透射到所述感光元件；滤色器，所述滤色器形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，各个滤色器被构造为选择所述入射光中的指定颜色透射通过到对应感光元件；分隔图案，所述分隔图案形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，以将所述感光元件上方的光接收区域分隔成单独的多个光接收区域，各个分隔图案包围对应滤色器以与相邻滤色器分离；凹槽，所述凹槽形成在所述分隔图案的上部中，并在相邻分隔图案之间提供气隙；以及微透镜，所述微透镜形成在所述分隔图案和所述滤色器上方以分别将入射光通过所述滤色器引导到所述感光元件，其中，所述微透镜通过所述凹槽彼此分离。