[发明专利]一种密封对接装置

摘要

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种密封对接装置。该密封对接装置的推板组件与驱动传动组件的第一驱动端连接，推板组件能在第一驱动端的带动下靠近或远离第二设备并在接触第二设备时能达到密封状态。密封门与驱动传动组件的第二驱动端连接，并能在第二驱动端的带动下运动，以遮挡或避开物料交换窗口。通过设置检测组件，检测推板组件和密封门的位置，控制器控制驱动传动组件使推板组件靠近或远离第二设备的动作分别与密封门避开或遮挡物料交换窗口的动作同步进行。上述结构实现了密封对接的自动化控制及过程检测，且密封对接过程可控，该装置结构简单紧凑，占用空间小，升级维护容易。