[发明专利]测量装置、平板印刷装置、物品的制造方法以及测量方法有效
| 申请号： | 201811506973.7 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109932876B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 前田浩平 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供测量装置、平板印刷装置、物品的制造方法及测量方法。提供对精度良好地测量基板的边缘位置有利的测量装置。测量基板的边缘位置的测量装置包括：检测部，检测以第1光量将光照射到所述基板的端部而由所述端部反射的光的第1强度分布、以与所述第1光量不同的第2光量将光照射到所述端部而由所述端部反射的光的第2强度分布；处理部，将由所述检测部检测的光强度分布上的位置相互对应的所述第1强度分布的检测信号和所述第2强度分布的检测信号当作1组，根据由所述检测部检测的光强度分布上的位置互不相同的多个组中的所述第1强度分布的波峰的强度和所述第2强度分布的波峰的强度处于容许范围内的组的强度分布决定所述基板的边缘位置。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 平板 印刷 物品 制造 方法 以及 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置，测量基板的边缘位置，所述测量装置的特征在于，包括：检测部，检测以第1光量将光照射到所述基板的端部而由所述端部反射的光的第1强度分布、以及以与所述第1光量不同的第2光量将光照射到所述端部而由所述端部反射的光的第2强度分布；以及处理部，将由所述检测部检测的光强度分布上的位置相互对应的所述第1强度分布的检测信号和所述第2强度分布的检测信号当作1组，根据由所述检测部检测到的光强度分布上的位置互不相同的多个组中的、所述第1强度分布的波峰的强度和所述第2强度分布的波峰的强度处于容许范围内的组的强度分布来决定所述基板的边缘位置。
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