[发明专利]一种激光防伪用掩膜版及其制作方法有效
| 申请号： | 201811511608.5 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109856907B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 李翼;李伟;张诚;徐根 | 申请（专利权）人： | 湖南普照信息材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/00 | 分类号： | G03F1/00;G03F7/38;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 410205 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光防伪用掩膜版的制作方法，通过提供透明基板；在所述透明基板表面设置氮氧化铬层；在所述氮氧化铬层表面涂覆光刻胶，所述光刻胶的粘度大于等于50厘泊；对涂覆光刻胶后的透明基板进行前烘处理，所述前烘处理为烘烤温度持续上升的前烘处理，以得到光刻胶层的厚度为100000埃米至300000埃米，包括端点值的激光防伪用掩膜版。本发明通过使前烘处理中的温度逐渐上升，使光刻胶内部的热量有时间扩散到光刻胶外部，确保了烘烤中光刻胶各层溶剂挥发均匀，避免了现有技术中温度直接升至前烘温度导致光刻胶最外层最先干燥成壳，阻碍光刻胶内部溶剂挥发的问题。本发明还提供了一种具有上述有益效果的激光防伪用掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 防伪 用掩膜版 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光防伪用掩膜版的制作方法，其特征在于，包括：提供透明基板；在所述透明基板表面设置氮氧化铬层；在所述氮氧化铬层表面涂覆光刻胶，所述光刻胶的粘度大于等于50厘泊；对涂覆光刻胶后的透明基板进行前烘处理，所述前烘处理为烘烤温度持续上升的前烘处理，以得到光刻胶层的厚度为100000埃米至300000埃米，包括端点值的激光防伪用掩膜版。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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