[发明专利]一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统有效
| 申请号： | 201811513354.0 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109406134B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 张智明;孙围华;靳毅;刘绘生;余健;宋敏;陈泽芸;王丛岭;蒋丹 | 申请（专利权）人： | 九川真空科技成都有限公司;电子科技大学 |
| 主分类号： | G01M13/003 | 分类号： | G01M13/003;G01N15/10 |
| 代理公司： | 成都嘉企源知识产权代理有限公司 51246 | 代理人： | 胡林 |
| 地址： | 610210 四川省成都市中国（四川）自由贸易*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器，真空装置包括腔体和抽真空装置，待测阀门驱动装置与待测阀门相连，待测阀门放置在腔体内，真空装置与气体通入装置和粒子计数器相连。本发明能够检测阀门工作过程中粒子脱落的数量，以便阀门的生产方和购买方能够准确了解到阀门的粒子脱落量数据，解决了由于阀门粒子脱落量不符合要求而造成半导体或者光伏组件的质量受到影响的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 阀门 工作 过程 粒子 脱落 数量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统，其特征在于：包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器，所述真空装置包括腔体和抽真空装置，腔体至少连接有三根管路，一根为气体通入管路，一根为出口管路，最后一根为抽真空管路，抽真空管路连接抽真空装置，气体通入管路连接气体通入装置，出口管路连接粒子计数器，气体通入装置通过支管路与粒子计数器相连，待测阀门驱动装置与待测阀门相连，待测阀门驱动装置驱动待测阀门开启和关闭，待测阀门放置在腔体内，所述气体通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安装有阀门。
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