[发明专利]一种Ag-Au-Al-Cr-Cu纳米复合膜表面增强荧光基底及其制备方法有效
申请号: | 201811514924.8 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN109487221B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 杨瑞芳;赵南京;殷高方;马明俊;孟德硕;甘婷婷;方丽;刘建国;刘文清 | 申请(专利权)人: | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/18;C22C30/02 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 230031 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu纳米复合膜表面增强荧光基底及其制备方法,通过在载玻片上直流溅射复合靶材Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu来制备,其操作简单、环境友好、沉积速度快、效率高、生产成本低、易于批量生产,通过使用Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu复合靶材代替传统单一的纳米金属,得到多组元构成的纳米复合Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu薄膜,令荧光在宽广波区有效增强,大大拓展了其应用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 ag au al cr cu 纳米 复合 表面 增强 荧光 基底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu纳米复合膜表面增强荧光基底,其特征在于,通过在载玻片上直流溅射复合靶材Ag‑Au‑Al‑Cr‑Cu制备得到荧光基底。
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