[发明专利]一种用于溅镀载具的清洁装置有效
| 申请号： | 201811514967.6 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109604195B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘宏茂 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/02;B08B5/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 孙威;潘中毅 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨和传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，包括：紧固在传动导轨周围的支架；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件。实施本发明的用于溅镀载具的清洁装置，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 溅镀载具 清洁 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨与传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，其特征在于，包括：装设在所述传动导轨周围的支架；装设在所述支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体；装设在所述支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811514967.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蔬菜分拣、清洗、包装一体装置
- 下一篇：一种变电站用绝缘子清洁装置
