[发明专利]晶圆盒放置架及晶圆存储柜有效
| 申请号： | 201811518717.X | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111301907B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 权林;林威斌;吴恬辛;陈晓春;祝杰 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/02 | 分类号： | B65G1/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种晶圆盒放置架及晶圆存储柜。所述晶圆盒放置架包括固定架和用于放置晶圆盒的防摩擦导轨，所述固定架上设置有至少一个晶圆盒放置区域；所述防摩擦导轨设置于所述晶圆盒放置区域上。本发明的晶圆盒放置架和晶圆存储柜可以有效防止因晶圆盒和放置架之间发生摩擦而产生不锈钢粉末等颗粒污染，可以有效避免晶圆盒的污染，由此可以避免晶圆的污染，提高晶圆的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 放置 存储 | ||
【主权项】：
暂无信息
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