[发明专利]一种晶圆夹持机械手臂组件在审
| 申请号： | 201811521689.7 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111319047A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 史洪涛;金嵩;张逸杰;姚志强 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆夹持机械手臂组件，晶圆夹持机械手臂组件包括：机械手臂本体，所述机械手臂本体中形成有通孔；衬垫，所述衬垫设置于所述机械手臂本体上，所述衬垫的底部形成有凹槽，且所述凹槽与所述通孔对应设置；紧固部件，所述紧固部件穿过所述通孔并插入至所述凹槽内，以将所述衬垫固定于所述机械手臂本体上。本发明的晶圆夹持机械手臂组件能有效防止晶圆受到金属污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 机械 手臂 组件 | ||
【主权项】：
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