[发明专利]一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手在审
| 申请号： | 201811523718.3 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111321420A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 湖北浚山光电有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/00 | 分类号： | C23G3/00 |
| 代理公司： | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人： | 饶卓识 |
| 地址： | 435000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手，包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构，行走机构上装有升降机构，行走机构包括矩形框架，矩形框架的一根横梁上装有减速电机，减速电机的两个输出端各装有一根传动轴，每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮，矩形框架另一横梁的两端装有从动轮，矩形框架中间固定装有一个龙门架，龙门架上装有抓取支架，抓取支架与装载金属掩膜板的吊具配合作用，龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构；本发明结构简单，成本低，维护费用低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金属 掩膜板 清洗 系统 机械手 | ||
【主权项】：
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