[发明专利]一种氟掺杂的疏水类金刚石薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201811524521.1 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109402576A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 史旭;徐瑶 | 申请（专利权）人： | 纳峰真空镀膜（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 201700 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜技术领域，具体地说是一种氟掺杂的疏水类金刚石薄膜制备方法。一种氟掺杂的疏水类金刚石薄膜制备方法，包括基材、底层、TAC薄膜层、含氟TAC层，其特征在于：具体步骤如下：S1：在基材的表面使用磁控溅射镀膜方式镀一层金属底层；S2：在底层的表面使用FCVA镀膜技术镀一层高耐磨性的TAC薄膜层；S3：在TAC薄膜层的表面使用FCVA镀膜技术镀一层含氟TAC薄膜层。同现有技术相比，使用FCVA技术，在基材上镀一层疏水性类金刚石涂层，同时达到高耐磨防腐等对基材的保护性能。其中滴水角可以达到110°以上。FCVA技术制备的TAC可以具有高耐磨性等特点，所以在表层进行氟掺杂后，可以大大提升产品的疏水性和耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜层 氟掺杂 基材 制备 类金刚石薄膜 镀膜技术 疏水 耐磨性 疏水性 含氟 磁控溅射镀膜 类金刚石涂层 保护性能 高耐磨性 金属底层 高耐磨 防腐 滴水 | ||
【主权项】：
1.一种氟掺杂的疏水类金刚石薄膜制备方法，包括基材、底层、TAC薄膜层、含氟TAC层，其特征在于：具体步骤如下：S1：在基材的表面使用磁控溅射镀膜方式镀一层金属底层；S2：在底层的表面使用FCVA镀膜技术镀一层高耐磨性的TAC薄膜层；S3：在TAC薄膜层的表面使用FCVA镀膜技术镀一层含氟TAC薄膜层。
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