[发明专利]一种高硬度MAX相陶瓷涂层及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201811524622.9 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN109487209B 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 黄峰;赵公澍;李朋;孟凡平 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02
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地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种高硬度的MAX相陶瓷涂层,所述涂层的成分组成为VxAlyC1‑x‑y,x=0.52~0.54,y=0.23~0.24,其中x,y为原子比率;所述涂层为结晶态,呈V型柱状晶生长结构,涂层为六方晶体结构;所述涂层利用X射线衍射在2θ=10~90°范围内测试,只在35.55°处出现MAX相(100)衍射峰,在63.85°处出现MAX相(110)衍射峰。该MAX相陶瓷涂层采用磁控溅射法并辅助射频叠加中频的电源施加方式,在非晶基体上非外延生长得到,得到的VxAlyC1‑x‑y涂层硬度高达20~25Gpa,大大提高了涂层的硬度,增强了其防护性能。
搜索关键词: 一种 硬度 max 陶瓷 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种高硬度的MAX相陶瓷涂层,其特征在于,所述涂层的成分组成为VxAlyC1‑x‑y,x=0.52~0.54,y=0.23~0.24,其中x,y为原子比率;所述涂层为结晶态,呈V型柱状晶生长结构,涂层为六方晶体结构;所述涂层利用X射线衍射在2θ=10~90°范围内测试,只在35.55°处出现MAX相(100)衍射峰,在63.85°处出现MAX相(110)衍射峰。
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