[发明专利]一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置有效
| 申请号： | 201811525526.6 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109590560B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 罗俊锋;郭凤歧;徐国进;陈淼琴;李勇军;庞欣;熊柏青;贺昕;刘晓;崔佳 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K3/00;B23K3/08;B23K37/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种铁磁性溅射靶材焊接方法及装置，该方法通过永磁吸盘平台对铁磁性靶材的磁力作用，使靶材、焊料与背板之间均匀结合，提高大面积铁磁性靶材焊接质量，靶材焊合率高，靶材厚度均匀性好。该焊接技术，操作简单，可重复性强，利用磁性平台焊接装置可实现大面积铁磁性靶材的高质量焊接，靶材的溅射性能明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 铁磁性 焊接 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种大面积铁磁性靶材焊接装置，其特征在于，包括加热台与可换向控制的永磁吸盘，所述永磁吸盘放置在加热台上，背板与铁磁性靶材的靶坯依次放置在永磁吸盘上，通过永磁吸盘的磁吸作用将所述铁磁性靶材的靶坯固定在背板上，并与背板焊合。
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