[发明专利]一种防止单晶硅生长炉高温计取光孔玻璃沾污的装置及方法

摘要

本发明公开了一种防止单晶硅生长炉高温计取光孔玻璃沾污的装置及方法。该装置由悬挂板、连接杆、屏蔽环三部分组成，连接杆连接在悬挂板与屏蔽环之间；该装置位于热场的固化碳毡与炉体之间，屏蔽环、固化碳毡上的透光孔、炉体上的取光孔三者的几何中心位于一条直线上。本发明可以防止高温挥发物在走向排气孔的过程中沉积在温度较低的取光孔玻璃上，防止片状高温挥发物落在取光孔与透光孔之间造成光信号衰减，从而保证光信号的传递的稳定性，保证热场温度参考点的一致性，提高成晶率。