[发明专利]一种异型多晶炉坩埚护板在审
| 申请号： | 201811532145.0 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109321971A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 邵长洲;韩晓敏;夏益民;王心才 | 申请（专利权）人： | 扬州荣德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈栋智 |
| 地址： | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了硅片制造领域内的一种异型多晶炉坩埚护板，护板由四块矩形的侧板依次连接围成，每块侧板的一侧边上设有固定孔，每两块侧板通过固定件与固定孔的配合形成连接；每块侧板的板面位于固定孔的位置上开设有与固定孔交叉的减震孔，侧板的顶部加工有盖板安装槽，盖板安装槽包括一对加工在侧板顶部两侧且相对设置的L形板状结构，本发明通过在侧板的顶部设置盖板安装槽，使得盖板安装时减少安装磕碰及安装时间，减少侧板周边上固定栓数量，提高安装效率，可用于多晶炉中。 | ||
| 搜索关键词： | 侧板 盖板安装 固定孔 多晶炉 护板 坩埚 安装效率 侧板顶部 顶部设置 硅片制造 上固定栓 相对设置 依次连接 固定件 减震孔 磕碰 板面 可用 块侧 加工 配合 | ||
【主权项】：
1.一种异型多晶炉坩埚护板，所述护板由四块矩形的侧板依次连接围成，每块所述侧板的一侧边上设有固定孔，每两块所述侧板通过固定件与所述固定孔的配合形成连接；每块所述侧板的板面位于所述固定孔的位置上开设有与所述固定孔交叉的减震孔，其特征在于，所述侧板的顶部加工有配合盖板的安装槽，所述侧板的上端开设有一排与安装槽配合的导流孔。
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