[发明专利]超疏水类金刚石复合层结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201811532808.9 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111321380B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;项磊;蒋春磊;石磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种类金刚石复合层结构的制备方法，包括以下步骤：提供聚偏氟乙烯‑六氟丙烯的有机溶液，在所述有机溶液中加入邻苯二甲酸二丁酯和纳米氧化物，加热处理形成混合浆料，将所述混合浆料沉积在基底上，干燥处理，将得到的膜层置于有机醇中浸泡处理，以溶解所述邻苯二甲酸二丁酯，制备具有孔隙结构的自支撑衬底，其中，所述纳米氧化物选自纳米二氧化硅、纳米三氧化二铝中的至少一种；将所述自支撑衬底依次进行辉光清洗和离子刻蚀清洗后，置于沉积室中，通入四氟甲烷气体，开启高纯碳靶，在所述自支撑衬底的表面沉积氟掺杂类金刚石层；开启离子源对所述氟掺杂类金刚石层进行刻蚀处理，制备表面具有微纳结构阵列的氟掺杂类金刚石层。 | ||
| 搜索关键词： | 疏水 金刚石 复合 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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