[发明专利]基板检测系统及基板检测方法在审
| 申请号： | 201811533123.6 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109580655A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈建锋 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板检测系统及基板检测方法，其中基板检测系统包括安装机台、视觉光学检测装置及程序逻辑控制装置。所述安装机台承载并运送设置有识别码的基板。所述视觉光学检测装置设置在所述安装机台，且包括电荷耦合构件和光源，所述电荷耦合构件对所述基板边缘连续拍摄多个图片并记录相对应的时间。所述程序逻辑控制装置电性连接所述电荷耦合构件并对每一所述图片进行判别。当判别所述图片有缺陷时产生警告信号，在所述程序逻辑控制装置的显示屏显示所述识别码及所述时间。借此，有效节省现有技术需要查找所述基板缺陷的时间和降低查找的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 程序逻辑控制装置 机台 基板检测系统 电荷耦合 基板检测 检测装置 视觉光学 识别码 显示屏显示 查找 电性连接 基板边缘 基板缺陷 警告信号 连续拍摄 基板 光源 图片 承载 运送 记录 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测系统，包括:安装机台，承载并运送设置有识别码的基板；视觉光学检测装置，设置在所述安装机台，所述视觉光学检测装置包括电荷耦合构件(CCD)和提供所述电荷耦合构件照明的光源，所述电荷耦合构件对所述基板边缘连续拍摄多个图片并记录相对应的时间；及程序逻辑控制装置(PLC)，电性连接所述电荷耦合构件并对每一所述图片进行判别，当判别所述图片有缺陷时产生警告信号，在所述程序逻辑控制装置的显示屏显示所述识别码及所述时间。
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