[发明专利]一种压电声波滤波器在审
| 申请号： | 201811534362.3 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109861665A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;郑云卓 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/58 | 分类号： | H03H9/58;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电声波滤波器，在微组装条件下，实现压电声波滤波器器件的高性能，高一致性。该压电声波滤波器包括载板和位于载板上且由上至下依次设置的上晶圆和下晶圆；上晶圆和下晶圆中分别设置有多个过孔，或者，仅在下晶圆中设置有多个过孔；或者，该压电声波滤波器包括载板和位于载板上且由上自下设置的第一晶圆、第二晶圆和第三晶圆，在第二晶圆和第三晶圆中分别设置有多个过孔。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 压电声波 滤波器 载板 滤波器器件 依次设置 微组装 | ||
【主权项】：
1.一种压电声波滤波器，其特征在于，包括载板和位于载板上且由上至下依次设置的上晶圆和下晶圆；所述上晶圆和下晶圆之间设置有密封环；所述上晶圆的上表面设置有输入信号键合垫片和输出信号键合垫片，所述上晶圆和下晶圆中分别设置有多个过孔，输入信号线通过上晶圆中一过孔连接到上晶圆上表面的输入信号键合垫片，输出信号线通过上晶圆中另一过孔连接到上晶圆上表面的输出信号键合垫片；接地线通过下晶圆中过孔连接到下晶圆下表面的金属化平面上；所述下晶圆下表面的金属化平面通过导电胶连接到载板的地平面上。
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