[发明专利]抛光装置及半导体晶圆平坦化设备在审
| 申请号： | 201811536665.9 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109500712A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘福强;费玖海 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/10;B24B37/34;B24B47/04;B24B47/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 杨鹏 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种抛光装置及半导体晶圆平坦化设备。抛光装置包括摆动机构、直线行走机构和抛光头组件；摆动机构包括摆动悬臂、摆动驱动装置和减速机；摆动驱动装置和减速机连接，摆动驱动装置用于驱动减速机转动；减速机与摆动悬臂连接，减速机用于驱动摆动悬臂沿设定轨迹摆动；摆动悬臂上安装有直线行走机构，直线行走机构与抛光头组件相连接，直线行走机构使得抛光头组件能够沿摆动悬臂的长度方向往复运动。本申请提供的抛光装置可实现直线往复式Sweep方式、弧线往复式Sweep方式及直线和弧线复合的Sweep方式，解决了Sweep工艺清扫运动轨迹单一，运动距离短，晶圆抛光效率较低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 摆动 直线行走机构 抛光装置 减速机 悬臂 摆动驱动装置 抛光头组件 半导体晶圆 平坦化设备 摆动机构 弧线 半导体制造技术 驱动减速机 直线往复式 晶圆抛光 清扫运动 悬臂连接 运动距离 往复式 申请 转动 复合 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种抛光装置，其特征在于，包括摆动机构、直线行走机构和抛光头组件；所述摆动机构包括摆动悬臂、摆动驱动装置和减速机；所述摆动驱动装置和所述减速机连接，所述摆动驱动装置用于驱动所述减速机转动；所述减速机与所述摆动悬臂连接，所述减速机用于驱动所述摆动悬臂沿设定轨迹摆动；所述摆动悬臂上安装有所述直线行走机构，所述直线行走机构与所述抛光头组件相连接，所述直线行走机构使得所述抛光头组件能够沿所述摆动悬臂的长度方向往复运动。
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