[发明专利]一种靶材冷却装置在审
| 申请号： | 201811537494.1 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109267022A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材冷却装置，包括靶座、安装在靶座上的靶材背板、绑定在靶材背板正面的靶材，在靶材背板的背面开设有多条连通的水冷槽，水冷槽通过水冷盖板密封，在靶材背板的背面还开有与水冷槽连通的进、出水口，在靶座上与进、出水口对应位置分别开有进、出水通道，进、出水通道在与进、出水口对接处内置有密封隔套，在密封隔套与靶材背板连接处设有密封圈，进、出水通道的另一端通过连接法兰连接外部进、出水管。本发明通过背板直接对靶材进行冷却，冷却效果好，可快速降低靶材温度，每次更换靶材时，可直接将背板从靶座上取下，不需要拆卸进出水接头，从而减少对背板的损伤，提高了更换的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材背板 靶材 靶座 出水通道 出水口 水冷槽 背板 靶材冷却 密封隔套 连通 背面 密封圈 进出水接头 盖板密封 冷却效果 连接法兰 出水管 对接处 绑定 对靶 内置 取下 水冷 拆卸 冷却 损伤 外部 | ||
【主权项】：
1.一种靶材冷却装置，包括靶座、安装在靶座上的靶材背板、绑定在靶材背板正面的靶材，其特征在于：在靶材背板的背面开设有多条连通的水冷槽，水冷槽通过水冷盖板密封，在靶材背板的背面还开有与水冷槽连通的进水口和出水口，在靶座上与进水口和出水口对应位置分别开有进水通道和出水通道，进水通道和出水通道在与进水口和出水口对接处内置有密封隔套，在密封隔套与靶材背板连接处设有密封圈，进水通道和出水通道的另一端通过连接法兰连接外部进、出水管。
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