[发明专利]一种溅射阴极匀气装置在审
| 申请号： | 201811538444.5 | 申请日： | 2018-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN109306458A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射阴极匀气装置，包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板，在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向，对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管，所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成，匀气内管套在匀气外管内，匀气内管与进气管道连接，进气管道穿过阴极靶门并与气体流量控制器连接，在匀气内管壁四周分布有出气孔，在匀气外管上沿长度方向分布有多个出气喷嘴。本发明通过在溅射阴极长度方向两边布置匀气管，外部通过单独的气体流量控制器来控制每一段匀气管的气体流量，对溅射阴极上中下各位置进行工艺气体流量补偿，进而来提高或者降低阴极区域等离子体浓度，提高产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射阴极 匀气 气管 外管 气体流量控制器 阴极挡板 匀气装置 阴极靶 两段 内管 等离子体 工艺气体流量 出气喷嘴 互不连通 进气管道 气体流量 阴极区域 出气孔 进气管 内管壁 内管套 和匀 罩住 对称 两边 外部 | ||
【主权项】：
1.一种溅射阴极匀气装置，包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板，其特征在于：在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向，对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管，所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成，匀气内管套在匀气外管内，匀气内管与进气管道连接，进气管道穿过阴极靶门并与气体流量控制器连接，在匀气内管壁四周分布有出气孔，在匀气外管上沿长度方向分布有多个出气喷嘴。
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