[发明专利]一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法

摘要

一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法，属于微型机械电子技术领域。压电式激励装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元，微结构激励单元包括一个手动三轴位移台，在手动三轴位移台的垂直溜板上安装有连接板，在连接板上通过螺纹安装有封装压电陶瓷，在封装压电陶瓷的顶部安装有微结构安装板，在微结构安装板的顶部粘接有MEMS微结构；光激励单元中使用了四个遮光板，使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上；该装置的有益效果是：可以实现对MEMS微结构整体的同时加热，确保了微结构表面的温度分布均匀，降低了微结构表面的温度梯度，大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。

主权项

1.一种动态特性测试的压电式激励装置，压电式激励装置包括筒体1、光加热单元4和微结构激励单元5，其特征是：所述筒体1的顶部安装有四个圆周均布的光加热单元4，每个光加热单元4依次通过安装板3、销轴7和固定板2与筒体1相连接，光加热单元4绕销轴7转动，在安装板3与销轴7套装部的螺纹孔内设有紧定螺钉8；所述光加热单元4包括螺纹连接的前套筒402和后套筒401，在后套筒401尾部中心孔内安装有平行光源412；所述前套筒402内部设有台阶孔，在前套筒402前端设有第一遮光板408、第二遮光板409、第三遮光板410和第四遮光板411，四个遮光板在前套筒402前端面上的投影呈圆周均布，其中第一遮光板408和第四遮光板411对称布置在靠近前套筒402前端处，第二遮光板409和第三遮光板410对称布置在远离前套筒402前端处；每个遮光板上均安装有导向轴406，导向轴406穿过前套筒402前端面的突出部并连接在推板405上，在推板405中心处设有调节旋钮404，调节旋钮404穿过推板405的中心孔并螺纹连接在前套筒402前端面的突出部上，在推板405和前套筒402前端面的突出部之间设有复位弹簧407，复位弹簧407套装在用于调节遮光板位置的调节旋钮404上；所述筒体1的底板6上设有微结构激励单元5，所述微结构激励单元5包括一个手动三轴位移台501，在手动三轴位移台501的垂直溜板上安装有连接板502，在连接板502上通过螺纹安装有封装压电陶瓷505，在封装压电陶瓷505的顶部安装有微结构安装板504，在微结构安装板504的顶部粘接有MEMS微结构503。