[发明专利]基板厚度的检测与自动修正系统及检测与自动修正方法

摘要

本发明是一种蚀刻工艺系统与方法，其包含一射频式测铜仪及一预蚀刻装置。射频式测铜仪包含有多个感测器；各感测器能放出及接收射频，且该多个感测器的射频的涵盖范围相互重叠且足以横跨用以蚀刻的基板的两端。射频式测铜仪扫描基板后将数据传送至预蚀刻装置进行补偿喷洒，藉以修正厚度及均匀性异常处。藉此，本发明即可逐一且完整地扫描每一块基板的所有表面，其所得出的表面镀铜的厚度或表面镀铜厚度的均匀性非常精确，且所需要的检测时间短，并且在得到数据之后可以即时的进行预蚀刻予以修正，藉此大幅的降低资源与成本的浪费。