[发明专利]皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法有效
| 申请号： | 201811539810.9 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109551123B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 程亚;徐剑;李晓龙;林子杰;王振华;柴志方 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | B23K26/55 | 分类号： | B23K26/55;B23K26/0622 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法，先利用聚焦的时域调控皮秒激光在石英玻璃中辐照产生空间选择性微纳裂纹区域，然后通过化学腐蚀将辐照区域去除得到中空且连通的三维微结构，从而实现石英玻璃内部微通道结构的三维制备。本发明通过调控皮秒激光的脉冲宽度可实现偏振不敏感的三维均一性腐蚀，同时具有高的化学腐蚀速率和选择性，适用于大尺寸三维微流控系统制造和高精度三维打印玻璃结构等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 诱导 石英玻璃 内部 裂纹 实现 微流控 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种皮秒激光诱导石英玻璃内部裂纹实现微流控器件制备的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：步骤1：皮秒激光辐照将石英玻璃样品固定在一台可编程三维位移平台上，通过显微物镜将时域调控的皮秒激光聚焦在石英玻璃样品上，驱动位移平台运动同时启动皮秒激光辐照，在石英玻璃样品内部中直写出所需要的内含微纳裂纹的三维微通道图案；步骤2：选择性化学腐蚀将皮秒激光辐照后的石英玻璃样品放入化学腐蚀溶液中，对直写的三维微通道图案进行空间选择性腐蚀去除，进而在石英玻璃样品内部获得具有三维几何构型的微通道结构。
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