[发明专利]光脉冲系统

摘要

提供一种用于控制与投影光学系统一起使用的光脉冲能量的系统和方法。该系统包括：光源，其被配置为发射光脉冲；传输元件，其被配置为传输有效光脉冲的第一部分和第二部分，第一部分被传输到投影光学系统；以及反馈系统，其包括被配置为接收有效光脉冲的第二部分并确定有效光脉冲的能量的总量度的检测器以及被配置为接收所述能量的总量度并且作为响应控制后续光脉冲的幅度的控制单元。在一些实施方案中，控制单元可以另外设置用于传送到比较器的阈值，以与能量的总量度进行比较，并且作为响应，控制有效光脉冲的宽度。

主权项

1.一种与投影光学系统一起使用的光脉冲系统，所述光脉冲系统包括：光源，其包括被配置为发射激光脉冲的泵浦激光器、被配置为向所述泵浦激光器提供电流的电流驱动器以及被配置为将所述激光脉冲转换为光脉冲的转换元件；传输元件，其被配置为传输有效光脉冲的第一部分和第二部分，所述第一部分被传输到所述投影光学系统；以及反馈系统，其包括：检测器，其被配置为接收所述有效光脉冲的所述第二部分并且确定所述有效光脉冲的能量的总量度；以及控制单元，其被配置为接收所述有效光脉冲的所述能量的总量度，并且作为响应，通过调节从所述电流驱动器到所述泵浦激光器的所述电流来控制后续光脉冲的幅度。