[发明专利]一种波导光有源增益的实现方法、波导及光器件有效
| 申请号： | 201811543364.9 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN109491011B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 李淼峰;肖希;王磊;张宇光 | 申请（专利权）人： | 武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/134 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 许小静 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种波导光有源增益的实现方法、波导及光器件，涉及光通信器件技术领域。波导位于光子芯片上或者晶圆上，实现方法包括：在波导的指定区段上方制备窗口，使得指定区段暴露在光子芯片或者晶圆的表面上；对指定区段进行离子掺杂。本发明对波导的指定区段进行离子掺杂，与光子芯片或者晶圆的制造工艺兼容性好，易于实现，制作成本低，可以实现晶圆级大规模制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 有源 增益 实现 方法 器件 | ||
【主权项】：
1.一种波导光有源增益的实现方法，所述波导位于光子芯片上或者晶圆上，其特征在于，所述实现方法包括：在所述波导的指定区段上方制备窗口，使得所述指定区段暴露在所述光子芯片或者晶圆的表面上；对所述指定区段进行离子掺杂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司，未经武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811543364.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
