[发明专利]倒金字塔绒面及太阳能电池的制备方法

摘要

本发明提供倒金字塔绒面及太阳能电池的制备方法，属于晶体硅太阳能电池领域。倒金字塔绒面制备方法适于链式反应设备，包括：步骤a.将硅片浸入含Ag+、HF以及HNO₃的预处理溶液中进行银沉积及表面织构化，在硅片表面形成含银颗粒的纳米级腐蚀坑；步骤b.将步骤a得到的硅片使用硅腐蚀液处理，去除硅片表面的银颗粒；步骤c.将步骤b得到的硅片使用碱性溶液处理，将纳米级腐蚀坑扩大为亚微米倒金字塔腐蚀坑。通过一步法对硅片表面进行处理形成纳米级别的绒面，再利用碱性溶液与硅的各向异性反应特性对纳米绒面进行修饰从而形成亚微米的倒金字塔陷光结构。太阳能电池的制备方法包括对倒金字塔绒面制备方法制得的硅片进行加工。

主权项

1.一种倒金字塔绒面制备方法，适于链式反应设备，其特征在于，包括：步骤a.将硅片浸入含Ag⁺、HF以及HNO₃的预处理溶液中进行银沉积及表面织构化，在所述硅片表面形成含银颗粒的纳米级腐蚀坑；步骤b.将步骤a得到的所述硅片使用硅腐蚀液处理，去除所述硅片表面的所述银颗粒；步骤c.将步骤b得到的所述硅片使用碱性溶液处理，将所述纳米级腐蚀坑扩大为亚微米倒金字塔腐蚀坑。