[发明专利]一种太阳能电池扩散PN结的制备方法在审
| 申请号： | 201811546704.3 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109560170A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 崔美丽;沈健锋;赵福祥;崔钟亨 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/223;H01L21/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，所述制备方法至少包括设置在沉积PN结之前的清洗步骤，所述清洗步骤为在无氧气存在的环境下，采用氮气携带POCl3进入扩散炉管中进行硅片表面的杂质清洗。本发明的一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，该制备方法在无O2的高温环境中，通入POCl3与硅片表面的杂质进行反应，能够有效地清除硅片表面的杂质，使得在沉积时制备均匀的高质量的PN结，提升电池的光电转换效率，且此清洗过程与PN结形成过程整合在一起，也不会增加其它的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 太阳能电池 硅片表面 扩散 沉积 清洗 光电转换效率 氮气携带 高温环境 过程整合 扩散炉管 清洗过程 杂质清洗 有效地 氧气 电池 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池扩散PN结的制备方法，其特征在于，所述制备方法至少包括设置在沉积PN结之前的清洗步骤，所述清洗步骤为在无氧气存在的环境下，采用氮气携带POCl3进入扩散炉管中进行硅片表面的杂质清洗。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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