[发明专利]物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体在审
| 申请号： | 201811547213.0 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109990772A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 泷泽照夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5712 | 分类号： | G01C19/5712;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;纪秀凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体，物理量传感器能够减小弹性部的尺寸波动导致的检测精度下降。其中，陀螺仪传感器(1)包括：弹性部(43)，具有通过折叠部(430)连接的多个梁部(第一部分(4301a、4301b、4301c、4301d))；结构体(固定驱动部(45))，与多个梁中的位于外侧的外侧梁(第一部分(4301a))相对，当将外侧梁和结构体的间隔设为T1，将多个梁彼此的间隔设为T2时，在T2＜T1的情况下，在外侧梁的结构体侧设置有与外侧梁相对的第一梁(4303)。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量传感器 结构体 复合传感器 电子设备 移动物体 弹性部 陀螺仪传感器 尺寸波动 固定驱动 折叠 减小 梁部 检测 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；固定部，相对于所述基板固定；弹性部，连接至所述固定部，具有通过折叠部连接的内侧梁和外侧梁；以及结构体，在所述基板的俯视观察中与所述外侧梁相对，在所述基板的俯视观察中，所述外侧梁位于所述内侧梁和所述结构体之间，当将所述外侧梁和所述结构体的间隔设为T1，将所述内侧梁和所述外侧梁彼此的间隔设为T2时，在T2＜T1的情况下，在所述外侧梁的所述结构体侧设置有与所述外侧梁相对的第一梁。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811547213.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
