[发明专利]在片薄膜铂电阻温度传感器的标定方法在审
| 申请号： | 201811549184.1 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109443600A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 许晓青;刘岩;梁法国;李锁印;翟玉卫;吴爱华;刘晨;孙静;韩志国;赵琳 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01K15/00 | 分类号： | G01K15/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 赵宝琴 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在片薄膜铂电阻温度传感器的标定方法，属于半导体测量技术领域，基于高低温探针台，步骤为：将片薄膜铂电阻温度传感器放置于控温平台；使每两根直流探针压于一个PAD压点；将四根直流探针分别连接数字多用表的两个Hi插孔和两个Lo插孔；调整高低温探针台的设定温度，通过数字多用表读取电阻值；根据公式计算电阻温度系数，再利用公式，即可计算实际温度。本发明提供的在片薄膜铂电阻温度传感器的标定方法，在片薄膜铂电阻温度传感器在微室内，受外界环境影响小，能够实现高低温环境下电阻值的精确提取，利用不同温度范围的电阻温度值分别计算电阻温度系数，提高在片薄膜铂电阻温度传感器的测温准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜铂电阻 温度传感器 标定 电阻 电阻温度系数 数字多用表 高低温 探针台 插孔 探针 半导体测量技术 读取 高低温环境 受外界环境 公式计算 控温平台 准确度 再利用 测温 压点 室内 | ||
【主权项】：
1.在片薄膜铂电阻温度传感器的标定方法，其特征在于，基于高低温探针台，包括以下步骤：将片薄膜铂电阻温度传感器放置于控温平台中心位置的真空吸附孔，对在片薄膜铂电阻温度传感器进行吸附固定；将控温平台推进微室，粗调四根直流探针的位置，使每两根直流探针压于一个PAD压点；通过显微镜观察直流探针的位置并进行微调，使直流探针与PAD压点接触良好；将与一个PAD压点接触的两根直流探针的测试引线分别连接至数字多用表的两个Hi插孔，另外两根直流探针的测试引线分别连接至数字多用表的两个Lo插孔；打开数字多用表及高低温探针台的电源，进行预热；将高低温探针台调整至设定温度，通过数字多用表读取在片薄膜铂电阻温度传感器在该温度环境条件下的电阻值；调整高低温探针台的设定温度，根据公式计算不同温度条件下的片薄膜铂电阻温度传感器的电阻温度系数，所述公式为：![]()
根据计算的电阻温度系数，利用公式(2)，即可计算该在片薄膜铂电阻温度传感器对应设定温度的实际温度。
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