[发明专利]有源光缆用带闪耀光栅的硅基光纤固定槽及其制作方法在审
| 申请号： | 201811549364.X | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN109507775A | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏程;李明;闫海涛;鱼志云;菅海风;张豪杰;胡志亮 | 申请（专利权）人： | 濮阳光电产业技术研究院 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B6/35 |
| 代理公司： | 濮阳华凯知识产权代理事务所(普通合伙) 41136 | 代理人： | 王传明;靳建山 |
| 地址： | 457000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于光通信、有源光缆技术领域，具体涉及一种有源光缆用带有闪耀光栅的硅基光纤固定槽及其制作方法。该制作方法第一湿法腐蚀制备硅基V型槽，第二干法刻蚀在硅基V型槽的一个内侧面上刻蚀闪耀光栅，制备以反射式闪耀光栅为微反射镜面的有源光缆光纤固定槽，该硅基光纤固定槽，包括硅基V型槽，硅基V型槽一端开口，另一端有端斜面(111)，硅基V型槽的端斜面(111)内侧上刻蚀反射式闪耀光栅，反射式闪耀光栅的闪耀角为9.7°，反射式闪耀光栅与端斜面(111)组成微反射镜，微反射镜的镜面竖直向上。该硅基光纤固定槽内刻蚀闪耀光栅，可将能量集中于设计的闪耀级，进而提升耦合效率，且对不同光波长闪耀级不同可以实现分光的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 固定槽 反射式闪耀光栅 硅基V型槽 硅基光纤 闪耀光栅 微反射镜 刻蚀 闪耀 制作 光缆 镜面 干法刻蚀 光缆光纤 光缆技术 能量集中 湿法腐蚀 竖直向上 一端开口 制备硅基 耦合效率 光波长 闪耀角 光通信 分光 制备 | ||
【主权项】：
1.有源光缆用带闪耀光栅的硅基光纤固定槽，包括硅基V型槽，所述的硅基V型槽(1)一端开口，另一端有端斜面(111)，其特征在于，所述的硅基V型槽的端斜面(111)内侧上刻蚀反射式闪耀光栅(2)，所述的反射式闪耀光栅(2)的闪耀角为9.7°，所述的反射式闪耀光栅(2)与端斜面(111)组成微反射镜(3)，所述的微反射镜(3)的镜面竖直向上。
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