[发明专利]一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜的制备方法

摘要

本申请公开了一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜制备方法，包括：基片的准备；配制PZT前驱体溶液；PZT薄膜的制备：将前驱体胶体旋涂在基片上，并对薄膜进行热处理和退火处理，重复上述步骤，最终可制备出PZT薄膜；电镀液的配制：将六水合氯化镍和硼酸依次溶解在去离子水中并不断加热搅拌直到充分溶解；Ni应力层的沉积：电镀前预先在PZT薄膜上溅射的金属种子层，然后在金属种子层表面电镀Ni应力层；裂缝的产生：随着电镀时间的增加，PZT薄膜沿着裂缝方向与基片逐渐分离直至完全分开；PZT薄膜的转移：清洗后将其与柔性PET基底粘在一起；柔性PZT薄膜制备完成。本申请通过可控剥离技术制备的柔性PZT薄膜依然保持良好的铁电性能，而且具有良好的机械性能。

主权项

1.一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：基片的准备；PZT前驱体溶液的配制；PZT薄膜的制备：将所述前驱体胶体旋涂在所述基片上，并对薄膜进行热处理和退火处理，重复上述旋涂、热处理以及退火处理步骤，最终可制备出PZT薄膜；电镀液的配制：将六水合氯化镍和硼酸依次溶解在去离子水中并不断加热搅拌，直到六水合氯化镍和硼酸在去离子水中充分溶解；Ni应力层的沉积：电镀前预先在PZT薄膜上溅射的金属种子层，之后设定电流密度，然后开始在金属种子层表面电镀Ni应力层；裂缝的产生：电镀一段时间后，PZT薄膜与基片的接触面边缘产生狭小的裂缝，随着电镀时间的增加，PZT薄膜沿着裂缝方向与基片逐渐分离直至完全分开；PZT薄膜的转移：将剥离下来的结构用去离子水清洗后，将其与柔性PET基底粘在一起，完成柔性PZT薄膜的转移；柔性PZT薄膜制备完成。