[发明专利]一种粉末冶金AlSnCu合金靶材及其制备方法在审
申请号: | 201811550045.0 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN111334762A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 黄树晖;朱宝宏;张永安;刘红伟;熊柏青;李志辉;李锡武;闫丽珍;闫宏伟;温凯 | 申请(专利权)人: | 有研工程技术研究院有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C21/00;C22C1/04;B22F3/15 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘徐红 |
地址: | 101407 北京市怀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种粉末冶金AlSnCu合金靶材及其制备方法,属于金属材料的制备加工领域。首先按照成份比例配备合金原料,采用喷粉制备出AlSnCu合金粉末;将筛选后的粉末置入纯铝包套;进行真空除气;随后进行分段热等静压,即在125~225℃之间进行不低于100MPa的热等静压,不少于2小时;然后在460±5℃进行不低于100MPa的热等静压,不少于4小时;热等静压完成后的出炉温度不高于200℃;将致密化后的材料进行机械加工或者小变形量的挤压或者轧制,制得方便利用的材料形状。得到靶材的晶粒尺寸均匀、形状近等轴状、成分均匀、无明显织构,少或无缺陷和杂质,同时过程控制难度小、材料利用率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 粉末冶金 alsncu 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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