[发明专利]一种带参考气室的光电探测器的制备方法有效
申请号: | 201811550051.6 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN109781659B | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 宋子毅;芦稷臣 | 申请(专利权)人: | 武汉市翎风光电科技有限公司;宋子毅 |
主分类号: | G01N21/39 | 分类号: | G01N21/39;H01L31/0203 |
代理公司: | 武汉维创品智专利代理事务所(特殊普通合伙) 42239 | 代理人: | 余丽霞;叶丽丽 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及参考气室、带参考气室的光电探测器及其制备方法和设备,带参考气室的光电探测器包括光电探测器本体,光电探测器本体内设有参考气室,参考气室内填充有被测气体,且参考气室通过焊料的加热融化焊接方式密封;焊料包括金属焊料、合金焊料、玻璃焊料和陶瓷焊料的至少一种;加热融化焊接方式包括脉冲加热方式、恒温加热方式、气体加热方式和激光加热方式中的至少一种。本发明能对参考气室内的被测气体进行检测,对系统中激光器波长进行实时较准;光电探测器自带参考气室,提高了整体集成度,降低了成本,采用焊料加热融化焊接方式对参考气室进行密封,气密性大大提高,使用寿命大大延长,适用于不同气体的激光浓度检测仪。 | ||
搜索关键词: | 一种 参考 光电 探测器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种带参考气室的光电探测器,其特征在于,包括光电探测器本体,所述光电探测器本体内设有参考气室(100),所述参考气室(100)内填充有被测气体,且所述参考气室(100)通过焊料的加热融化焊接方式密封;所述焊料包括金属焊料、合金焊料、玻璃焊料和陶瓷焊料的至少一种;所述加热融化焊接方式包括脉冲加热方式、恒温加热方式、气体加热方式和激光加热方式中的至少一种。
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