[发明专利]具有多级次微纳结构的金刚石薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种具有多级次微纳结构的金刚石薄膜及其制备方法和应用，涉及金刚石薄膜技术领域。金刚石薄膜包括自基体表面依次向外形成的非连续的微米尺寸金刚石岛，以及由连续的纳米尺寸金刚石晶粒构成的纳米金刚石膜层，形成具有类荷叶乳突体的多级次微纳结构。其制备方法包括以下步骤：先在基体上进行低密度植晶，并通过热丝化学气相沉积法进行一次生长金刚石；再在一次生长金刚石薄膜上进行高密度植晶，并通过热丝化学气相沉积法进行二次生长金刚石。本发明的金刚石薄膜具有类荷叶乳突体的多级次微纳结构，形成仿生超疏水表面，不仅疏水性和自清洁能力强，而且耐腐蚀、寿命长。制备方法容易获得、适用性强，工艺简单、稳定，适合工业化生产。