[发明专利]研磨头以及研磨装置

摘要

本发明的目的在于，提供一种结构简单且大小紧凑的研磨头和基板研磨装置。研磨头(10)具备：研磨器具按压部件(12)，该研磨器具按压部件支承研磨器具(3)；可动轴(15)，该可动轴与研磨器具按压部件(12)连结；壳体(18)，在该壳体的内部收纳可动轴(15)；以及隔壁膜(25)，该隔壁膜在可动轴(15)的端部与壳体(18)之间形成压力室(20)，隔壁膜具(25)有：中央部(25a)，该中央部与可动轴(15)的端部接触；内壁部(25b)，该内壁部与中央部(25a)连接，并且沿着可动轴(15)的侧面延伸；折返部(25c)，该折返部与内壁部(25b)连接，并且具有弯曲的剖面；以及外壁部(25d)，该外壁部与折返部(25c)连接，并且位于内壁部(25b)的外侧。

主权项

1.一种研磨头，用于将研磨器具按压于基板，该研磨头的特征在于，具备：研磨器具按压部件，该研磨器具按压部件支承所述研磨器具；可动轴，该可动轴与所述研磨器具按压部件连结；壳体，在该壳体的内部收纳所述可动轴；以及隔壁膜，该隔壁膜在所述可动轴的端部与所述壳体之间形成压力室，所述隔壁膜具有：中央部，该中央部与所述可动轴的端部接触；内壁部，该内壁部与所述中央部连接，并且沿着所述可动轴的侧面延伸；折返部，该折返部与所述内壁部连接，并且具有弯曲的剖面；以及外壁部，该外壁部与所述折返部连接，并且位于所述内壁部的外侧。