[发明专利]扫描电子显微镜校准图形样片及制备方法在审
| 申请号： | 201811555401.8 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN109444472A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 李锁印;赵琳;梁法国;韩志国;许晓青;冯亚南;张晓东;吴爱华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20;G01Q30/02 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝伟 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种扫描电子显微镜校准图形样片及制备方法，属于半导体技术领域，包括基板、仪器放大倍率校准图形和快速寻迹标志图形，仪器放大倍率校准图形设置于基板上，用于对图形进行校准；快速寻迹标志图形设置于仪器放大倍率校准图形的旁侧，用于寻迹所述仪器放大倍率校准图形。本发明提供的扫描电子显微镜校准图形样片，利用快速寻迹标志图形，可以快速准确判断仪器工作状态是否正常，以便及时校准，从而保证扫描电子显微镜的测量精度，提高了校准效率和扫描电镜的测量准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 校准图形 扫描电子显微镜 仪器放大 寻迹 标志图形 校准 基板 制备 测量 半导体技术领域 仪器工作状态 扫描电镜 保证 | ||
【主权项】：
1.扫描电子显微镜校准图形样片，其特征在于，包括：基板；仪器放大倍率校准图形，设置于所述基板上，用于对图形进行校准；快速寻迹标志图形，设置于所述仪器放大倍率校准图形的旁侧，用于寻迹所述仪器放大倍率校准图形。
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