[发明专利]一种激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置与方法在审
申请号: | 201811556736.1 | 申请日: | 2018-12-19 |
公开(公告)号: | CN109570150A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 刘怀乐;任旭东;张洪峰;胡文景;焦加飞 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B23K26/064;B23K26/067;B23K101/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置与方法,包括超薄零件和控制器,所述超薄零件固定安装在玻璃容器内,所述玻璃容器设置在工作台上,所述玻璃容器在所述工作台的作用下能够在所述超薄零件所在的平面上左右移动;所述玻璃容器的两侧对称设有第一振镜和第二振镜,所述控制器用来控制所述第一振镜和所述第二振镜的摆动位置,所述第一振镜反射的光束和所述第二振镜反射的光束对称入射到所述超薄零件同一位置点的两侧。通过控制第一振镜和第二振镜同时、同速、同向摆动,完成整个零件的清洗。本发明解决了超薄零件激光单面清洗过程中产生的应力变形问题,提高了超薄零件的表面精度和清洁效率。 | ||
搜索关键词: | 超薄零件 振镜 玻璃容器 激光诱导 双面清洗 振镜反射 控制器 空泡 摆动位置 单面清洗 光束对称 清洁效率 同一位置 应力变形 左右移动 工作台 摆动 入射 同速 同向 对称 清洗 激光 | ||
【主权项】:
1.一种激光诱导空泡双面清洗超薄零件的装置,包括超薄零件(109)和控制器(106),其特征在于,所述超薄零件(109)固定安装在玻璃容器(108)内,所述玻璃容器(108)设置在工作台上,所述玻璃容器(108)在所述工作台的作用下能够在所述超薄零件(109)所在的平面上左右移动;所述玻璃容器(108)的两侧对称设有第一振镜(107)和第二振镜(105),所述控制器(106)用来控制所述第一振镜(107)和所述第二振镜(105)的摆动位置,所述第一振镜(107)反射的光束和所述第二振镜(105)反射的光束对称入射到所述超薄零件(109)同一位置点的两侧。
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