[发明专利]一种制备铜铟镓硒薄膜电池的方法及其装置

摘要

本发明属于镀膜技术领域，具体涉及一种制备铜铟镓硒薄膜电池的方法及其装置。该制备方法包括以铜，铟，镓三种元素为蒸发源，在基板上进行蒸发镀膜，同时以硒靶材为磁控溅射靶在基板上进行磁控溅射，得到镀膜后的基板；将所述镀膜后的基板进行退火处理，即得铜铟镓硒太阳能薄膜。该制备方法以共蒸发法和磁控溅射相结合的方式制备CIGS薄膜，可以使CIGS薄膜具有较好的禁带宽度的纵向梯度的同时提高硒元素的利用率，克服了CIGS薄膜中元素配比易发生波动和硒元素浓度调试困难的问题，且磁控溅射有助于提高成膜均匀性。

主权项

1.一种制备铜铟镓硒薄膜电池的方法，其特征在于，该方法包括：以铜、铟、镓三种元素为蒸发源，采用共蒸发方式对基板进行镀膜，同时以硒靶材为磁控溅射靶对所述基板进行磁控溅射；对镀膜和溅射后的基板进行退火处理，得到铜铟镓硒太阳能薄膜。