[发明专利]一种全透明异质结光晶体管及其制备方法

摘要

本发明涉及了一种全透明异质结光晶体管及其制备方法。该全透明异质结光晶体管采用顶栅垂直结构，从下自上依次设置有基底、漏极、氧化物半导体层、可见光吸光层、网状源极、绝缘层和栅极，所述绝缘层的一侧设置有源极接触电极。本发明提供的垂直结构异质结光晶体管可以实现紫外到可见光的宽光谱探测。该垂直结构异质结光晶体管具有超短的载流子传输沟道和大的激子分离界面，并借助金属氧化物半导体高的载流子迁移率，可以实现超高光电性能。该垂直结构的全透明异质结光晶体管有望广泛用于全光谱光探测器、光突触等领域。

主权项

1.一种全透明异质结光晶体管，其特征在于：所述光晶体管为顶栅垂直结构，从下自上依次设置有基底、漏极、氧化物半导体层、可见光吸光层、网状源极、绝缘层和栅极，所述绝缘层的一侧设置有源极接触电极；所述基底为玻璃，所述绝缘层为氧化铝或PVP，所述网状源极为金属纳米线或碳纳米管，所述可见光吸光层为有机半导体材料、量子点材料或钙钛矿材料，所述氧化物半导体层为金属氧化物半导体。