[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积设备复机方法

摘要

本发明涉及一种金属有机化合物化学气相沉积设备复机方法，包括以下步骤：高温加热，去除反应腔中残留的MO源；打开反应腔，去除涂层；关闭反应腔，稳定反应腔内的气流；通入有机铟源至反应腔内气压饱和状态；进入反应腔生产状态。本发明通过在还原腔体环境时采用增加有机铟的成分浓度，降低有机镁的成分浓度，使得腔体内MO源饱和度最佳，以及腔壁涂层均匀，省去了后续曝气和高温蒸发除水的工艺，无需改动装置结构而缩减了步骤，操作简便易行，大大缩短复机周期。

主权项

1.一种金属有机化合物化学气相沉积设备复机方法，其特征在于，所述复机方法包括以下步骤：S1、高温加热，去除反应腔中残留的MO源；S2、打开反应腔，去除涂层；S3、关闭反应腔，稳定反应腔内的气流；S4、通入有机铟源至反应腔内气压饱和状态；S5、进入反应腔生产状态。