[发明专利]离子供应系统和控制离子供应系统的方法有效
| 申请号： | 201811561929.6 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109950123B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | A·C·彼德森;D·切尔内绍夫;J-P·豪斯切德;E·考金 | 申请（专利权）人： | 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈洁;姬利永 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 离子供应系统包括将离子发射到前真空室中的离子源，布置在前真空室中的具有堆叠电极的离子传输装置，向离子传输装置的电极提供振荡电压的控制系统，和真空室，其布置在离子传输装置的下游。在布置在离子传输装置的下游的真空室中的是真空计。真空计的压力信号被提供给控制系统，该控制系统将振荡电压提供给离子传输装置的电极。控制系统以振幅向离子传输装置的电极提供振荡电压，该振幅与真空计200的压力信号相关。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 供应 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子供应系统，其包括‑将离子发射到前真空室中的离子源；‑离子传输装置105，其具有布置在所述前真空室130中的堆叠电极135；‑控制系统210，其向所述离子传输装置的电极135提供振荡电压，‑和布置在所述离子传输装置105下游的真空室150，其中布置有真空计200，其中真空计200的压力信号被提供给提供振荡电压的所述控制系统210，并且所述控制系统210提供具有振幅的振荡电压，所述振幅与所述真空计200的压力信号相关。
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