[发明专利]被加工物的加工装置有效
| 申请号： | 201811562185.X | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109955144B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 渡边真也;山端一郎;铃木克彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供被加工物的加工装置，在将树脂包覆于被加工物的情况下，将所包覆的树脂的厚度控制为期望的厚度并且对树脂膜高精度地进行平坦化。一种被加工物的加工装置(1)，其在被加工物(W)的正面(Wa)上包覆树脂，该被加工物(W)在由呈格子状形成的多条分割预定线(S)划分的区域内形成有器件(D)，其中，该加工装置(1)包含：盒载置台(53、54)，它们供收纳多个被加工物(W)的盒(51、52)载置；树脂包覆单元(2)，其在被加工物(W)的正面(Wa)上包覆树脂；树脂硬化单元(4)，其对所包覆的树脂施加外部刺激而使树脂硬化；树脂磨削单元(6)，其利用旋转的磨削磨具(641)对已硬化的树脂进行磨削而使树脂平坦化；以及搬送机构，其在各单元之间对被加工物(W)进行搬送。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种被加工物的加工装置，其在被加工物的正面上包覆树脂，该被加工物在由呈格子状形成的多条分割预定线划分的各区域内形成有器件，其中，该被加工物的加工装置具有：盒载置单元，其供收纳多个被加工物的盒载置；树脂包覆单元，其在被加工物的正面上包覆树脂；树脂硬化单元，其对所包覆的树脂施加外部刺激而使该树脂硬化；树脂磨削单元，其利用旋转的磨削磨具对已硬化的树脂进行磨削而使该树脂平坦化；以及搬送单元，其在所述盒载置单元、所述树脂包覆单元、所述树脂硬化单元和所述树脂磨削单元之间对被加工物进行搬送。
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