[发明专利]一种冗余压力传感器及制备方法在审
| 申请号： | 201811562809.8 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109696259A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 蓝镇立;谢锋;周国方;谢明 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;廖元宝 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种冗余压力传感器，包括弹性元件和引压元件，弹性元件的背面设有压力腔，压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片；压力腔正对的弹性元件的正面制备有多个相互独立的应变电桥；弹性元件的背面周侧与引压元件密封连接，引压元件上设置有与压力腔相连通的引压孔。本发明的压力传感器具有体积小、重量轻等优点。本发明还公开了一种制备方法，包括步骤：S01、在弹性元件的背面开设压力腔，压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片；S02、在弹性膜片上制作多个应变电桥，形成芯片；S03、将芯片中的弹性元件的背面周侧与引压元件焊接形成密封腔；S04、引线封装，完成装配。本发明的方法具有工艺简单、操作简便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性元件 压力腔 压力传感器 背面 弹性膜片 制备 应变电桥 冗余 芯片 引线封装 元件焊接 元件密封 密封腔 体积小 引压孔 重量轻 正对 装配 制作 | ||
【主权项】：
1.一种冗余压力传感器，其特征在于，包括弹性元件(1)和引压元件(3)，所述弹性元件(1)的背面设有盲孔以形成压力腔(101)，所述压力腔(101)与所述弹性元件(1)的正面之间形成弹性膜片(102)；所述压力腔(101)正对的弹性元件(1)的正面制备有多个相互独立的应变电桥(2)；所述弹性元件(1)的背面周侧与所述引压元件(3)密封连接，所述引压元件(3)上设置有引压孔(301)，所述引压孔(301)与所述压力腔(101)相连通。
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