[发明专利]硅基光互连系统在审
| 申请号： | 201811563027.6 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111352185A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 薛磊;岳庆冬 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅基光互连系统，包括：第一硅衬底、光电器件、CMOS器件及第一隔离层，所述光电器件和所述CMOS器件均设置于所述第一硅衬底之上，所述第一隔离层设置于所述第一硅衬底和所述光电器件之间，本发明的硅基光互连系统集成了光电器件和CMOS，且光电器件和CMOS共用硅衬底，光电器件的光源、波导、探测器共用硅衬底，能应用于芯片等光传输结构中，器件的兼容性高，光耦合效率高，器件的传输性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基光 互连 系统 | ||
【主权项】：
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