[发明专利]一种平面矩形磁控溅射阴极用角度可调型电磁线圈有效
| 申请号： | 201811565348.X | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109504946B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 杨拉毛草;周晖;郑军;马占吉;赵栋才;蒋钊 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面矩形磁控溅射阴极用角度可调型电磁线圈，属于真空镀膜装备制造技术领域。在所述阴极侧面上方左右两侧的真空腔体壁上，通过安装座固连有两个旋转轴，两个电磁线圈本体在所述阴极正后方对称并列安装，每个旋转轴与一个电磁线圈本体后背部连接；所述阴极正后方的真空腔体顶部和底部上下对应设有旋转轨道的导轨座，电磁线圈本体顶部和底部设有与所述导轨座对应的导轨槽；所述导轨槽和导轨座位置配合形成上下两个导轨滑动连接，所述导轨的轨迹均以旋转轴为圆心；导轨槽内安装有定位锁死螺母。通过调节所述电磁线圈的角度可使靶面的水平方向的磁场保持均匀；也可同步调控纵向磁场，可实现不同功能要求的涂层性能调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 矩形 磁控溅射 阴极 角度 可调 电磁 线圈 | ||
【主权项】：
1.一种平面矩形磁控溅射阴极用角度可调型电磁线圈，其特征在于：所述电磁线圈包括电磁线圈本体(1)、旋转轴(2)和旋转导轨；所述旋转导轨包括导轨槽(3)和导轨座(4)；在阴极(11)侧面上方左右两侧的真空腔体(8)壁上，分别通过安装座固定连接有左右两个旋转轴(2)，左右两个电磁线圈本体(1)在所述阴极(11)正后方对称并列安装，每个旋转轴(2)与一个电磁线圈本体(1)的后背部连接；所述阴极(11)正后方的真空腔体(8)顶部和底部上下对应设有旋转轨道的导轨座(4)，电磁线圈本体(1)顶部和底部设有与所述导轨座(4)对应的导轨槽(3)；所述导轨槽(3)和导轨座(4)位置相互配合形成上下两个导轨滑动连接，所述旋转导轨的轨迹均以旋转轴(2)为圆心；导轨槽(3)内安装有定位锁死螺母(5)，用来固定旋转角度。
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