[发明专利]一种空间活动零部件表面智能复合润滑薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201811565806.X | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109930120B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 周晖;杨拉毛草;冯兴国;张凯锋;刘兴光;万志华 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种空间活动零部件表面智能复合润滑薄膜及其制备方法，属于空间活动零部件表面处理和真空技术领域。所述薄膜的底层为磁控溅射沉积在空间活动零部件表面的Ti层，Ti层之上为磁控溅射沉积的Ti含量逐渐减少、Ag和Mo含量逐渐增加的成分呈梯度变化的Ti/Ag/Mo过渡层，Ti/Ag/Mo过渡层之上为磁控溅射复合磁过滤电弧离子镀沉积的Ag/Mo/DLC/WS |
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| 搜索关键词： | 一种 空间 活动 零部件 表面 智能 复合 润滑 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空间活动零部件表面智能复合润滑薄膜，其特征在于：所述薄膜的底层为磁控溅射沉积在空间活动零部件表面的Ti层，Ti层之上为磁控溅射沉积的Ti含量逐渐减少、Ag和Mo含量逐渐增加的成分呈梯度变化的Ti/Ag/Mo过渡层，Ti/Ag/Mo过渡层之上为磁控溅射复合磁过滤电弧离子镀沉积的Ag/Mo/DLC/WS2智能复合润滑层。
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